产品简介

TESCAN 镓离子型双束扫描电镜是一款高分辨双束 FIB-SEM 系统，具备的扩展分析能力和纳米加工功能。其特点包括新一代镜筒内电子加速技术、静电-电磁复合物镜、多探测器配置、大型样品室和多种扩展附件接口。该系统提供高分辨成像、低电压电子成像、高速切割和优化的离子束处理能力，并配备操作软件，简化用户界面，提高操作效率。它在高分辨成像、原位应用和分析扩展能力方面处于行业内高水平。

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 是TESCAN第四代 FIB-SEM 的新成员，是一款超高分辨双束 FIB-SEM 系统，它可以提供图像质量，具有扩展分析能力，并能以精度、效率完成复杂的纳米加工和操作，可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求。

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 FIB-SEM的优点：

新一代镜筒内电子加速、减速技术，保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力

配置的静电-电磁复合物镜，物镜无磁场外泄，实现磁性样品高分辨成像及分析

配置4个新一代探测器，可实现9种图像观测，对样品信息的采集更加全面

配置大型样品室，有超过20个扩展接口，为原位观测、分析创造了良好的工作环境

可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并实现与TOF-SIMS、Raman联用

新一代操作软件和自动功能，FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中，极大简化了操作

新一代 Orage™ Ga FIB镜筒，适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 配置了BrightBeam™ 镜筒，实现了无磁场超高分辨成像，可以实现各种分析，包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率，特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的 Orage™ Ga FIB 镜筒配有离子枪和离子光学镜筒，使得TESCAN  镓离子型双束扫描电镜成为了世界高水平的样品制备和纳米图形成型的仪器。

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜  束流可达100nA，具有超快速的加工能力，新颖的 SmartMill 高速切割功能，使得加工效率提升一倍。

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 离子能量可达500eV，拥有更优秀的低压样品制备能力，可以快速制备无损超薄TEM样品。

 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件，并实现与TOF-SIMS、Raman一体化。

新一代OptiGIS™气体注入系统

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 可配置的多种探测器，包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector，可选择不同角度和不同能量来收集信号，体现更多种类的信息，同时获得更好的表面灵敏度和对比度。TESCAN AMBER 有两种气体注入系统可供选择，标准的5针-GIS和新一代OptiGIS单针-GIS，单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体，避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题。

 两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体，其中W、Pt、C等用于导电材料沉积，SiOx用于绝缘材料沉积，XeF2、H2O等用于增强刻蚀，或其它定制气体。

新一代Essence™操作软件，更简单、高效的操作平台

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 可配置的多种探测器新操作软件极大简化了用户界面，能快速访问各主要功能，减少了繁琐的下单菜单操作，并优化了操作流程向导，易于学习，兼容多用户需求，可根据工作需要定制操作界面。

 新颖的样品室内3D空间位置和移动轨迹模拟功能，可避免误操作，造成碰撞。

 样品室内的3D空间位置和移动轨迹模拟

集成多项创新性设计，拓展新应用领域的利器

TESCAN  镓离子型双束扫描电镜 可配置的多种探测器，集成了BrightBeam™ SEM镜筒、Orage™ Ga-FIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计，在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业内高水平，此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验。